而工作台方面,其实也是可以和非浸润式DUV光刻机采用一样的,国内的华卓精科就有双工作台,其精度满足浸润式DUV光刻机使用,没什么问题的。 而物镜系统这一块,是蔡司和ASML合作造出来的,不卖给中国,中国只有…
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