标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。
首台国产商业化电子束光刻机诞生，量子芯片研发从此有了“中国刻刀”
5 月 6 日消息，英国南安普敦大学当地时间 4 月 30日宣布开设全球第二家电子束光刻工厂。这是日本境外的首座同类设施，也是欧洲首个尖端半导体工厂。 根据的了解，不同于现有的主流商用技术…
作者：狼叫兽英国南安普敦大学于4月30日宣布，将建立全球第二座电子束光刻工厂。这不仅是欧洲首个先进的半导体制造设施，也是日本以外地区设立的首座同类型工厂。 与目前主…
光罩厂中的光罩图形化，则是当下电子束光刻最重要的用途，其重要性丝毫不亚于ASML的各型光刻设备。与光学投影光刻不同的是，电子束光刻过程中需要使电子束快速偏转和遮蔽，所以需要高速束闸来进行控制。另一个方向则是电…
而EUV又用于7nm以下的芯片制造，所以说ASML卡住了全球所有先进芯片制造企业的脖子。还有美国之前搞了EBL电子束技术，据称也能够用于5nm及以下芯片的制造。 这种产品，据称可以制造下一代半导体芯片，并…
日前，东方晶源自主研发的新一代EOS“三箭齐发”，取得突破性成果，成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、关键尺寸量测设备（CD-SEM）、电子束缺陷检测设备（EBI），率先实现国产EOS在高端量测…
据悉，在集成电路产业飞速发展的浪潮中，中微公司以高端半导体设备为核心，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权的保护，不断开发具有市场竞争力的设备；同时，中微公司将整合产业链上下游和相关资源作为另一发力点，积…
中微公司董事长、总经理尹志尧在致辞中表示：“中微的MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备已经在全球碳化镓基LED（发光二极管）设备市场取得优势地位。 据悉，在集成电路产业飞速发展的浪潮中，中微公司以高…
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