ASML遭炮轰:DUV光刻机也不能卖给中国!可能涉军
为美国监视中国?光刻巨头辟谣
这款创新性的激光源能够发射出与当前主流DUV曝光技术波长相同的193纳米相干光,为半导体工艺提升至3纳米节点提供了有力支持。 经过精确测量,该固态DUV激光源的平均功率达到了70毫瓦,频率为6千赫兹,线宽低于…
不过,近日,有好消息传出,那就是中国科学院(CAS)的研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,光源波长是193nm,和ASML、佳能、尼康的方式不一样。 不过,目前这个技术,更多的还是在实验室,要…
论文介绍称,深紫外相干光,尤其是 193 nm 波长的光,已成为半导体光刻不可或缺的部分。研究人员提出了一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统,能够在6 kHz 的重复频率下产生 193 nm 相干光。 …
在设备销售方面,ASML全年共售出418台光刻机,其中包括44台极紫外(EUV)光刻机和374台深紫外(DUV)光刻机。 从收入来源看,中国大陆成为ASML最大的市场,2024年贡献了101.95亿欧元的收…
而这也是美国,为什么不准ASML销售EUV光刻机给我们的原因,美国担心我们拥有这种光刻机之后,能够制造出先进的芯片来。 所以理论上2nm芯片,也能够使用DUV光刻机来制造,只是这种SASP方案,需要在SAD…
从上面的技术演进图其实也可以看到,ArF最高能够支持到65nm工艺,而这台国产光刻机,分辨率就是65nm,很明显就是贴近极限值的。 所以这台国产65nm的光刻机,其实已经是干式DUV的极限了,也是ArFi(…
因为光线的波长小,分辨率就高了,所以浸润式光刻机,可以用于最小7nm工艺的芯片,这是干式DUV办不到的。其实它就是一台干式DUV光刻机,所以能生产多少纳米的芯片,我也不多说了,懂的都懂。 基于此,很多人表…
之前美国一直不准ASML销售EUV光刻机给我们,后来又更改禁令,连浸润式DUV光刻机,也就是ArFi也不允许随便卖给中国了。 事实上,大家真不用担心,早在2年前,我们就已经预料到了这一天,这两年以来,中国一…
这台光刻机是ArF技术,套刻也就是层与层之间的分辨率为8nm,每一层的精度为65nm,性能比较接近的是——阿斯麦2005年发布的ArF-Dry系列65nm的光刻机1460K,套刻精度为3.5和5.0nm,比…
9 月 15 日消息,工业和信息化部于 9 月 9 日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024 年版)》通知,在文件列表包含国产氟化氪光刻机(110nm),和氟化氩光刻机(65nm)的…
后来,美国又出台新的禁令,那就是个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运NXT:1970i 和 NXT:1980i浸没式DUV设备的许可证,这个许可证也是美国发的。 意思就是,接下来像TWINSCAN N…
二是看到中国芯进步很快,明显已经超过了美国的预期,所以美国不敢再让ASML出口1970i和1980i了,之前的芯片已经是例子了。 美国的意图很明显,那就是彻底阻7nm芯片之路,因为一旦这两款也禁了后,就没有了…
快科技9月7日消息,据国外媒体报道称,荷兰政府公布了新的出口管制规定,要求ASML(阿斯麦)就其部分机器向海牙(荷兰南荷兰省的省会)而非美国政府申请许可证,新规将于2024年9月7日生效。 ASML(阿斯麦)…
9月6日晚间,ASML相关负责人向记者进一步解释称,在去年10月美国政府颁发出口管制条例中,已要求向包括中国在内的部分国家出口特定型号的中高端DUV浸润式光刻设备(NXT:1970及后续机型)的零部件、软件和…
在8B02展位,富士胶片(中国)打造了一个拍摄现场,搭建了影视拍摄中常见的复古风格办公室。在富士胶片集团"为世界绽放更多笑容"的集团使命之下,富士胶片(中国)将持续洞察中国广播电影电视行业的趋势,用适合行业…
那如何来制造,和利用DUV光刻机,制造7nm芯片一样,采用多重曝光技术即可。 所以,大家就不要天天想着用用DUV光刻机,来制造5nm芯片了,就算制造的出来,也无法市场化,这是不现实的,还是想想另外的招吧,你…
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