也就是说，马斯克的“FEL-EUV”能不能成事，还得看阿斯麦能否向他提供与FEL光源配套的光刻机，特别是在台积电和三星争相扩产的背景下。
公开资料显示，2026年6月，前英特尔晶圆厂厂长Gary Jiang已加入特斯拉，出任Terafab项目总监。
马斯克能用SpaceX的方法，造出下一座台积电吗？
该技术具备高功率、高相干性、波长可调谐以及更高能效等优势，理论上可将光刻光源从当前主流的13.5nm推向6nm乃至更短波长，大幅延伸摩尔定律的生命周期。
而Terafab是特斯拉与SpaceX联合开发的先进半导体晶圆厂，选址得州格里姆斯县，规划制造空间超过1亿平方英尺，初期投资168亿美元。 画面中Optimus在园区穿梭作业，Robovan沿贯穿建筑的架空…
今年早些时候，特斯拉开始将弗里蒙特工厂原本用于生产 Model S 和 Model X 的旧生产线改造成第三代 Optimus 人形机器人生产线。
快科技8月7日消息，当地时间8月6日，马斯克旗下太空探索技术公司SpaceX与特斯拉公司联合宣布，全球规模最大芯片厂——Terafab将落户得克萨斯州的格赖姆斯县，项目首期投资额达168亿美元。
IT之家 8 月 6 日消息，当地时间 6 日（今天），SpaceX 宣布将与特斯拉首期投入 168 亿美元（IT之家注：现汇率约合 1,136.05 亿元人民币），在美国得克萨斯州格赖姆斯县建设 Terafab 先进 AI 芯片制造基地。
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