5 月 28 日消息，台积电负责业务开发及全球业务的资深副总经理兼副联席 COO 张晓强在荷兰阿姆斯特丹当地时间昨日举行的公司 2025 年技术论坛欧洲场上表示，台积电暂无为先进制程导入 High NA EUV 的必要。

张晓强表示，台积电新近公布的 1.4nm 级逻辑制程 A14 即使没有导入 High NA EUV 图案化设备，提升幅度也相当可观。

他提到，台积电的技术团队正继续努力通过获取工艺收放效益充分拓展 Low NA EUV 可深入的制程水平，只要这一路线仍能取得进展，那就不必在量产中使用昂贵的 ASML High NA EUV 系统。

注意到，在三大先进制程企业中对 High NA EUV 技术最为激进的英特尔对实际生产中应用 High NA 也持审慎态度，与台积电 A14 同等名义制程的 Intel 14A 就有使用或不使用 High NA 的两种选项。