众所周知,目前全球仅一家厂商能够生产EUV光刻机,它就是荷兰的ASML。
事实上,EUV光刻机,早在2016年就量产出来了,但后来也经历了不断的迭代,而这种EUV光刻机,有一个非常重要的指标,那就是数值孔径。
因为EUV光刻机,是通过收集EUV光线来进行光刻,光线越多,可操作性就越强,分辨率就越高。
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事实上,EUV光刻机,早在2016年就量产出来了,但后来也经历了不断的迭代,而这种EUV光刻机,有一个非常重要的指标,那就是数值孔径。
因为EUV光刻机,是通过收集EUV光线来进行光刻,光线越多,可操作性就越强,分辨率就越高。
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