红星资本局12月26日消息，昨日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”），中标zycgr22011903采购光刻机项目。此外，光刻机公司上海芯上微装科技股份有限公司（以下简称“芯上微装”）全资子公司，近日中标合肥8.6代AMOLED生产线。

查询发现，上海微电子与芯上微装，均由张江高科（600895.SH）间接持股。

今年以来，光刻机国产化不断提速，机构认为，国产半导体设备产业链有望迎来新一轮高速增长机遇。

上海微电子中标1.1亿元光刻机项目

张江高科间接持股

据中国政府采购网公示，12月25日，上海微电子中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额1.1亿元。

上海微电子为半导体装备领域的核心企业，尤其在高端光刻机的研发与制造方面处于领先地位。今年5月，上海微电子官宣实现90nm ArF光刻机量产。

根据企查查信息，《单一来源采购专家论证意见表》显示，招标方为科学技术部的LGGJ实验室。专家意见显示，步进扫描式光刻机具备高分辨率光学成像能力（分辨率≤110nm）和优异的套刻精度（≤15nm），可支持微米乃至亚微米级结构的高均匀性、高稳定性加工。

“步进扫描式”，为当前主流精密制程的半导体极紫外光（EUV）、深紫外光（DUV）光刻机的机械工作方案。

此外，芯上微装全资子公司——上海玻纳刻科技有限公司，近日中标8.6代有源矩阵有机发光显示器件（AMOLED）生产线项目，招标人为合肥国显科技有限公司。

芯上微装成立于2025年2月，其核心业务包括光刻机的设计与制造。今年11月25日，芯上微装自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收。

股权信息显示，上海张江浩成创业投资有限公司（以下简称“张江浩成”）持有上海微电子10.78%的股份，持有芯上微装14.20%的股份，张江浩成则由张江高科（600895.SH）全资持有。

昨日，张江高科尾盘一度涨超8%，截至收盘涨4.81%；今日股价回落，收跌3.15%。

资料图

光刻机国产化不断提速

在半导体装备领域，光刻机始终处于核心关键设备的地位。目前该市场长期由ASML、尼康和佳能等国际厂商主导。

今年以来，光刻机国产化不断提速：哈尔滨工业大学官宣成功研制13.5nm波长EUV光源；中科院上海光机所实现全固态深紫外光源突破，使国内芯片工艺验证能力推进至3nm理论极限。

华创证券认为，众多成果标志着国产光刻机在整机与核心零部件环节的迭代正在加速，未来在政策支持与市场应用拉动下，国产产业链整体能力有望持续提升。

华鑫证券认为，光刻机技术的突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加速光刻胶、光学部件等“卡脖子”材料的国产化进程，形成“龙头带动、多点突破”的产业升级格局。

国金证券表示，半导体设备是半导体产业链的基石，存储扩产与自主可控共振，国产替代空间广阔。半导体设备位于产业链上游，是支撑芯片制造与封测的核心产业。随着AI大模型驱动存储技术向3D化演进，叠加长鑫、长存等国内存储大厂扩产项目落地，国产半导体设备产业链有望迎来新一轮高速增长机遇。

在资本市场，光刻机板块也受到追捧，年内涨幅已超76%；其中，48只概念股已有13股年内股价实现翻倍。

编辑 陶玥阳 综合自21世纪经济报道、证券时报、企查查等 审核 高升祥