格隆汇2月9日丨恒运昌(688785.SH)在互动平台表示，公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换。此外，公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了 CVD（化学气相沉积）工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品。
恒运昌(688785.SH)：已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源
IP属地 中国·北京 编辑：格隆汇 格隆汇 时间：2026-02-09 18:45:32
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