从上面的技术演进图其实也可以看到,ArF最高能够支持到65nm工艺,而这台国产光刻机,分辨率就是65nm,很明显就是贴近极限值的。 所以这台国产65nm的光刻机,其实已经是干式DUV的极限了,也是ArFi(…
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