当前位置: 首页 » 资讯 » 新科技 » 正文

阻断中国7nm之路?ASML所有浸润式DUV光刻机,都禁售了

IP属地 北京 编辑:赵静 科技plus 时间:2024-09-07 12:15:06

众所周知,光刻机和芯片工艺是一一对应的。如下图所示,这是光刻机类型,对应的芯片工艺。

可以看到普通的DUV光刻机,也就是干式ArF光刻机,最多能制造65/55nm的芯片。

而浸润式DUV光刻机,也就是ArFi光刻机,最多能够制造到7nm的芯片,甚至按照林本坚的说法,还可以向5nm芯片工艺推进的。

至于5nm芯片之后,那就必须使用EUV这种极紫外线光刻机了,用DUV光刻机已经制造不出来了,因为DUV光刻机的光线波长经水折射也也毕竟有134nm,波长太长,分辨率不够。

而国内之前能够买到所有的浸润式DUV光刻机,而EUV光刻机买不到,美国不允许ASML销售给中国,因为美国怕中国研发出了7nm甚至更先进的芯片工艺。

后来,美国又限制了ASML,不准出售先进的浸润式DUV光刻机,当时只允许出售两款较旧的浸润式光刻机,分别是TWINSCAN NXT:1970i和1980i深紫外光微影(DUV)系统。

因为当时只有较为先进的浸润式DUV光刻机,才有可能进入7nm工艺,相对较老的,像1970i和1980i,要进入7nm相对较麻烦,良率较低,成本高。

而近日,有媒体报道称,荷兰政府再次更改了规则,这次连ASML之前能够出口的1970i和1980i这两款老一点的浸润式DUV光刻机,也限制住了。

荷兰政府虽然没有说只是针对中国,但明眼人一看就能看出,就是针对中国的,因为一旦ASML出口这两种机器,也需向荷兰海牙政府申请出口许可证,新政于9月7日正式生效。

很多人分析称,一是因为虽然1970i和1980i要生产7nm芯片较难,但其实还是可以的,毕竟也有先例。二是看到中国芯进步很快,明显已经超过了美国的预期,所以美国不敢再让ASML出口1970i和1980i了,之前的芯片已经是例子了。

美国的意图很明显,那就是彻底阻7nm芯片之路,因为一旦这两款也禁了后,就没有了浸润式DUV光刻机了,没有了浸润式光刻机,就不可能进入7nm了吧,至于5nm,当然就更加没希望了。

再结合之前的不准ASML维修光刻机,也就是说新的不准买,旧的坏了不准修,让其变成废铁,美国的想法还是很美好的,接下来就看我们如何破局了。

免责声明:本网信息来自于互联网,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点。其内容真实性、完整性不作任何保证或承诺。如若本网有任何内容侵犯您的权益,请及时联系我们,本站将会在24小时内处理完毕。